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基于Markov链的集束型晶圆制造设备预防性维护建模.pdf
第42卷第10期 上海交通大学学报 v01．42No．10
2008年10月 JoURNALOFSHANGHAIJlAOT()NGUNIVERSITY Oct．2008
文章编号：1006-2467(2008)10-1622—05
基于Markov链的集束型晶圆制造
设备预防性维护建模
周炳海， 何 平， 潘尔顺， 奚立峰
(上海交通大学机械与动力工程学院，上海200240)
摘 要：为了有效提高集束型晶圆制造设备的运行可靠性，同时降低其维护成本，提出了基于
Markov链的预防性维护建模方法．根据集束型晶圆制造设备的特点，将设备使用情形分为运行状
态、预防性保养状态、保养未能回复状态、预防性维修状态和维修无法回复状态，建立了设备状态转
移模型．在此基础上，建立了集束型晶圆制造设备的预防性维护成本模型，进行了仿真实验分析．结
果表明，该模型可有效分析不同参数组合下的单位时间预防性维护期望成本．
关键词：集束型设备；晶固；马尔可夫链；预防性维护
391
中图分类号：TP 文献标识码：A
M of Toolsfor
PreventiveMaintenanceodel Cluster
ing
FabricatiOnWafersBasedonMarkovChain
ZHOU E Er-shun，XI
Bing—hai，HPing，PAN Li—feng
(SchoolofMechanical 200240，China)
Engineering，ShanghaiJ iaotongUniversity，Shanghai
Abstract：Tothe ofclustertoolsforfabricationwafers，andtoreducemainte—
improverunningreliability
cost for maintenancewas
nance Markovchain—based method
efficiently，a modeling preventive proposed．
tothecharacteristicsofthecluster statesare asthe
tools，five defined，such
According runningstate，pre—
ventivemaintenance(PM)state，PMun—restore andPRun-restore
state，preventiverepair(PR)state
with basis ex—
state．Astatetransitionmodelwasbuilt thefivestates．Onthe ofthe model，an
proposed
costmodelwas
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