PVD真空鍍膜.ppt

2003/10/09 PVD真空鍍膜 真空技术概述 真空曾经是一门很神秘的学科，因为它一直是发达国家在军事、原子能和空间技术等关系国家科学技术竞争力的高技术领域激烈竞争的秘密武器。但随着技术的迅速发展和应用的日益广泛，其神秘面纱才逐渐被揭开。 真空薄膜对我们十分有用，现举三个例子； a.高耐磨、低摩擦系数、高化学稳定性的薄膜； b.玻璃上镀二氧化钒薄膜则具有智能化功能； c.信息存贮薄膜。 现在连金属的冶炼、衣服的储存、食品的包装都已用到真空技术 PVD反應原理 　 PVD鍍膜（鍍鈦/鋯鍍膜）（也叫鈦/鋯物理蒸汽沉降），就是在一個真空容器內，將需要鍍膜的材料置于真空爐內，然后慢慢加熱至一定溫度，鈦塊就會以電弧的形式汽化，鈦塊与氮气混和形成一薄膜。膜的正极附被于材料的負极，慢慢在被鍍膜材料的表面形成了一層薄膜。通過調節溫度，混合气，鈦塊，便可以調配出許多种性能优异的鍍膜色彩。鍍膜后的色彩丰富，在各種產品尤其是不鏽鋼產品表面形成鈦/鋯膜層能在室外環境下經年不褪色。  PVD主要生產設備 附属设备 1.电源 2.制程气体 3.冷冻设备 4.相关测量仪表 5.各种管路 6.传输系统 7.环境 PVD真空鍍膜的制程 PVD真空鍍膜的特性 特點: 外觀﹕純金屬膜，凝重而華麗的金屬光澤 抗腐蝕和氧化性﹕不退色，不易划傷 通用性﹕產品主要的表面裝飾 良好的可塑性﹕可彎曲90度以上，不易斷裂 或脫皮及表面擦傷 耐抗性﹕硬度系數超過80RC 耐久性﹕表面拋光可維持20年以上 經濟性﹕節約（減少）了一般鍍銅（金）板所需清洁 磨光的時間和花費，使用一 塊軟布和玻璃 清洁劑就可以了 抗破坏性﹕筆跡和圖跡易消除 環境适應性﹕防止有害物質的放射 PVD真空鍍膜用途 PVD鍍膜技術的本意就是為了提高產品的耐磨耐蝕性能，因此鍍膜產品更能迎合門面，門窗，五金，室內外裝飾的要求。鍍膜產品經久耐用，它結合了銅及金的豪華以及不鏽鋼易于保持的优點，且不易剝落，褪色，氧化，掉色，鍍膜后的產品能用于成形，鑽孔，切割而不斷裂，剝落。PVD鍍膜產品能運用于五金﹕幕牆，電梯，柱子包層等等，鍍色后的不鏽鋼產品相比于黃銅和黃金大大的減少了保養時間及成本，只需用柔軟的布就可能達到保養目的。 真空技术的应用 真空技术的应用行业 1.冶金及冶炼行业 2.真空热处理 3．电工行业 4.光电子信息产业 5.食品工业 6.医药工业 真空镀膜技术在富士康的应用 1、金属化装饰性镀膜 2、EMI处理 3、不锈钢手机镀彩色膜 4、模具镀膜 5、TFT-LCD 6、手机面板鍍膜 7、抗高压薄膜 8、光学镀膜 PVD鍍膜（鍍鈦）顏色系列 鈦/鋯物理汽化鍍膜是在一真空容器內在不鏽鋼表面形成各顏色薄膜層， 這層膜有很好的導電及潤滑能力，顏色多种， 由淺至深為黃銅，金色，玖瑰金，紫銅，煙灰， 黑色等。 在發絲，NO.4，鏡面，壓花，蝕刻板等基礎上均可鍍色. 新的挑战 1）有机光学元件基片材料的采用； 2）光纤通讯工业中对薄膜的更高要求； 3）多层光学薄膜的挑战； 4）蒸发镀是光学薄膜的主要制备方法， 但它不能满足更高的致密性要求； 5）离子增强沉积技术是真空镀膜的又一发展方向，值得关注。 * MOTOROLA 真空系统的组成： 1．系统介绍 真空系统的组成：真空室、真空泵、真空规。 真空室： 抽真空系统分为前 级泵，次级泵。 PVD真空爐 PVD真空爐 挂具 進爐 電漿拋光來料檢驗 電漿拋光 布輪手拋光 制程檢驗(IPQC) 超聲波清洗 物料上挂 進爐(真空鍍) 制程檢驗(IPQC) IPQC 表面純化處理 加膠(電泳) 水洗 進爐烘乾 交貨 上料 水洗 進爐烘乾 * *