Adsorber更换指导手册.pdf

ULVAC C30 Compressor Adsorber 更換指導手冊 Adsorber 更換指導手冊 準備工作 工具工具 工具工具 10 號開口扳手號開口扳手 號開口扳手號開口扳手 26 號開口扳手號開口扳手 號開口扳手號開口扳手 30 號開口扳手號開口扳手 號開口扳手號開口扳手 十字螺絲起子十字螺絲起子 十字螺絲起子十字螺絲起子 圖1 Adsorber 更換指導手冊 步驟 1. 關閉電源 2. 使用26 號開口扳手及號開口扳手及30 號開口扳手及號開口扳手及 號開口扳手拆除號開口扳手拆除Helium 號開口扳手拆除號開口扳手拆除 line ( 圖圖2 ) 圖圖 圖2 Adsorber 更換指導手冊 步驟 3. 取下固定螺母 圖3 Adsorber 更換指導手冊 步驟 4. 使用十字螺絲起子取下 Adsorber外的固定板 圖4 Adsorber 更換指導手冊 步驟 5. 取下固定扣環 圖5 圖6 Adsorber 更換指導手冊 步驟 6. 拆下連接Adsorber氦氣 接頭 圖7 Adsorber 更換指導手冊 步驟 7. 使用號扳手拆下固定螺 絲 圖8 Adsorber 更換指導手冊 步驟 8. 取下Adsorber 9. 換上新的Adsorber 圖9 Adsorber 更換指導手冊 步驟 10. 使用號開口扳手鎖上固 定螺絲 圖10 Adsorber 更換指導手冊 步驟 11. 接回氦氣接頭 ，並鎖 緊 圖11