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气体流量测量和校准的原理与实践
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气体流量校准的基本公式 qm
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演讲人:李欣
福禄克计量校准部高级技术支持工程师
©2015 Fluke Corporation FCAL Gas Flow Overview 1
主题
气体流量校准的基本原理
©2015 Fluke Corporation FCAL Gas Flow Overview 2
今日主题
•进行比较法流量测量的重要因素
•质量流量与体积流量: 设备和单位
•泄露对测量的影响
•建立稳定气流状态的重要性
©2015 Fluke Corporation FCAL Gas Flow Overview 3
今日主题
•硬件配置注意事项
•基标准和二级标准
•福禄克流量校准中的新内容
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良好的流量比较测量
基本假定:
对于顺序连接的流量参考设备和被测设备, 通过每个部分
的流量是相等的。
被测设备 参考
此假设至少依赖于三个因素
1. 测量的量是质量
2. 无泄漏
3. 排除了瞬时影响 (稳定状态流量)
©2015 Fluke Corporation FCAL Gas Flow Overview 5
良好的流量比较测量
体积流量和质量流量
•体积流量是体积比时间: q = cc/min
v
•质量流量是质量比时间: q = g/min
m
•标准质量流量:
质量流量单位常被表示为某种标准状态下的体积流量单位:
3
• sccm, slm, sm /h 是质量流量单位.
• cc/min, ccm, or accm 是体积流量单位.
提示: 表示为体积流量单位的质量流量单位是测量误差的常见来源.
问题1: 气体流量测量的根本是基
于质量流量还是体积流量?
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良好的流量比较测量
理解标准质量流量单位 (sccm, slm)
在两种不同压力和温度条件下(密度)的1 毫升(cc) 体积
每个体积内的质量(分子数量)是不同的.
标准状态毫升 (standard cubic centimeter, scc)
定义标准状态下(压力和温度)每毫升的质量
©2015 Fluke Corporation FCAL Gas Flow Overview 7
良好的流量比较测量
为什么是质量流量?
几乎所有的气体流量都依据于质量流量,不是体积流量.
质量流量对一下应用是非常重要的:
• 运输监护
• 气体混合
• 化工 / 生物反应
• 泄漏率监测
• 化学蒸汽沉积 /
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