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MEMS高效精益生产中的新元素 德国威卡公司 赵中华 CTS事业部销售总监 1 WIKA/2013.3 WIKA/2013.3 日程 • 校准是什么 • MEMS校准的特点 • 方案和方法 WIKA/2013.3 校准是什么 JJF1001-2011 通用计量术语及定义 校准的定义： 在规定条件下的一组操作，其第一步是确定由测量标准提供的量值与相应示值之间的 关系，第二步则是用此信息确定由示值获得测量结果的关系，这里测量标准提供的量 值与相应示值都具有测量不确定度。通常，只把上述定义中的第一步认为是校准。 简而言之，就是在规定条件下，为确定计量器具示值误差的一组操作。 校准的 目的: ⒈确定示值误差，并可确定是否在预期的允差范围之内 ⒉得出标称值偏差的报告值，可调整测量器具或对示值加以修正 ⒊给任何标尺标记赋值或确定其他特性值，给参考物质特性赋值 ⒋确保测量器给出的量值准确，实现溯源性。 WIKA/2013.3 校准是什么 TUR （Test Uncertainty Ratio）测量不确定比 ANSI/NCSL Z540-1-1994 （美国国家标准学会：Calibration -- Calibration Laboratories and Measuring and Test Equipment -- General Requirements。 校准.校准实验室、测量和试验设备.一般要求）： “Collective uncertainty of the measurement standards shall not exceed 25% of the acceptable tolerance (e.g. Manufacturer specifications)”. This 25% equates to a TUR of 4:1. 测量标准的综合不确定度不能超过被测允差的25%。也就是TUR为4:1. 读数精度 为相对误差，在各个测试点的相对误差均一致。 读数精度可以大大提高测量标准的覆盖范围。 WIKA/2013.3 MEMS校准的特点 特点： • 与传统的传感器相比，MEMS具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠 性高、适于批量化生产等特点。 • 针对体积小和批量化的特点。在校准时与传统传感器有很大区别 • MEMS校准需要用大容积工装来同时大批量校准。 • MEMS对标准器的精度要求更高。 WIKA/2013.3 高准确度校准的优点 • 提高标准器精度，可以使校准的冗余量变大，更好的保证被检产品的准 确度。 • 标准器的负载能力增强，可以用更大容积的工装，可以同时校准更多的 产品，大大提高生产效率。 • 高精度的活塞，传感器及控制器标准器精度高达20ppm。更有效的保证 MEMS传感器的品质。 WIKA/2013.3 高精度快速校准 控制精度可 达0.08% 控制速度可快