TCAD工具仿真流程培训讲义.pdf

第7 章 TCAD 工具仿真流程及在ESD 防护器件性能评估方面的应用 章内容 • 工艺和器件TCAD 仿真软件的发展历程 • 工艺和器件仿真的基 流程 • TSUPREM-4/MEDICI 的仿真示例 • ESD 防护器件设计要求及TCAD 辅助设计的必要 性 • 利用瞬态仿真对ESD 防护器件综合性能的评估 7/27/2020 浙大微电子 2/65 章内容 • 工艺和器件TCAD 仿真软件的发展历程 • 工艺和器件仿真的基 流程 • TSUPREM-4/MEDICI 的仿真示例 • ESD 防护器件设计要求及TCAD 辅助设计的必要 性 • 利用瞬态仿真对ESD 防护器件综合性能的评估 7/27/2020 浙大微电子 3/65 TCAD 仿真工具介绍 •目前世界上有三套TCAD 仿真工具 ： TSUPREM4/MEDICI 、 SILVACO(ATHENA/ATLAS) 、 ISE(DIOS/MDRAW/DESSIS) •MEDICI 和ATLAS 都 包含器件描述工具和器件仿 真工具 ，在ISE中器件描述和器件仿真被拆分成 MDRAW 和DESSIS 。 7/27/2020 浙大微电子 4/65 TSUPREM4/MEDICI 仿真的基 流程 : 7/27/2020 浙大微电子 5/65 SILVACO(ATHENA/ATLAS) 仿真的基 流程 : 7/27/2020 浙大微电子 6/65 ISE-TCAD 仿真流程 : 7/27/2020 浙大微电子 7/65 输入输 出 ： **.inp **.out TSUPREM4 MEDICI **.out **.tl1 Medici 格式 **.str **.in ATHENA **.str ATLAS **.log **_dio.out **_dio.cmd **_mdr.cmd DIOS **_mdr.bnd **.tl1 **_dio.dat.gz **_dio.grd.gz 7/27/2020 浙大微电子