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梁
力論
理論來理行
離
不
絶度
1. Maxwell-Boltzmann
Maxwell-Boltzmann Distribution Note:
(1) 度( ), 度
(2) 度零
(3) 度
量行若
行度
度 不參量 浪
不
離離
力狀離
量異量離量
量 若度 離
度力
離
2. (a) 不量 粒(b)粒異
數 粒量
理
離
粒行離數
量 力力 量
離量離
離
離離異
量
3 (a)(b)
行
離度
-Boltzmann distributio度
1 2 3
mc KT
2 2
離
Argon Glow Discharge
Neutrals Ions Electrons
Mass 6.6 -23 -23 -28
×10 Kg 6.6×10 Kg 9.1×10 Kg
Temperature 293K 500K 23,200K
eV 0.025eV 0.04eV 2eV
C 4 4 7
4.0×10 cm/sec 5.4×10 cm/sec 9.5×10 cm/sec
average
粒
4 i 量mi 度vi t 量mt
量量
m v cosθ m u +m u (3)
i i i i t t
1 2 1 2 2 2 1 2
( sin )
m v m u +v θ + m u +∆U (4)
2 i i i i i t t
2 2
( ∆U )
粒類
(1) 離量零
(2) 離
(3) 離量粒
(2) (3)不 (sputter
deposition) 利Ar 離
行CVD
利(例)行連串
4.
量
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