半导体单晶炉硅片制备--多晶硅铸锭炉和单晶炉.pdf

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第二节硅片制备中的热工设备 --单晶炉和多晶硅铸锭炉 一、单晶炉 • 目前在所有安装的太阳电池中,超过90% 以上的是 晶体硅太阳电池,因此位于产业链前端的硅锭/片 的生产对整个太阳电池产业有着很重要的作用。 •太阳电池硅锭主要有单晶硅锭和多晶硅锭,这两种 硅锭。 •单晶硅做成的电池效率高,但硅锭生产效率低,能 耗大; •多晶硅电池效率比单晶硅低一些,但硅锭生产效率 高,在规模化生产上较有优势。 • 目前国际上以多晶硅硅锭生产为主,而国内由于人 工成本低,国产单晶炉价格低,因此国内单晶硅硅 锭的产能比多晶硅大得多。 1

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