硅片切割废液处理各工序处理效果计算方法.pdfVIP

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2021-05-08 发布于河南
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硅片切割废液处理各工序处理效果计算方法.pdf

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HG/TXXXX—XXXX 附录A （规范性）各工序处理效果计算方法 A.1 回用水不溶物含量的测定 A.1.1 试验步骤用量筒量取250mL回用水，精确至1.0mL。用预先于105℃±2℃干燥至质量恒定的滤板孔径5 μm～15μm的玻璃砂坩埚抽滤，用60mL热水（约60 ℃）分三次洗涤残渣，然后连同玻璃砂坩埚于 105℃±2℃下干燥至质量恒定。 A.1.2 试验数据处理回用水不溶物含量的质量分数w ，按公式（A.1）计算： 1 m m  1 0 w ………………………………………（A.1） 1 3 V 10 式中： m ——干燥至质量恒定后回用水不溶物和玻璃砂坩埚的质量的数值，单位为克（g）； 1 m ——干燥至质量恒定后玻璃砂坩埚的质量的数值，单位为克（g）； 0 V——量取回用水的体积的数值，单位为毫升（mL）。 A.2 成品碳化硅回收率成品碳化硅回收率w ，按公式（A.2）计算： 2 m m  w 1 ……………………………………（A.2） 100% 2 m 式中： m——含微硅粉的碳化硅的质量的数值，单位为克（g）； m ——微硅粉的质量的数值，单位为克（g）。 1 A.3 成品聚乙二醇回收率成品聚乙二醇回收率w ，按公式（A.3）计算： 3 V V  w 1 ……………………………………（A.3） 100% 3 V 式中： V——固液分离得到聚乙二醇（浓度折百）的体积的数值，单位为毫升（mL）； V ——经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇的体积的数值，单位为毫升 1 （mL）。 _________________________________ 8