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金刚线切片机 切割废液(废水、冷却液)
废水收集池
板框压滤机
固废处理(硅粉及少量金属杂质)
陶瓷滤膜过滤
污水站高浓废水池
回用水收集罐
图1 金刚线硅片切割废液处理处置工艺流程
废浆料(离线)
搅拌
压滤分离
聚乙二醇(高浓度)
回用液
滤饼(砂料)
聚乙二醇
四道循环压滤 吸附脱色 活性炭
悬流分离 脚
去离子水
料
压
底流筛分 滤
脱悬压滤 活性炭(废)
微硅粉
带式过滤
碱液、酸液
反冲洗废水
反冲洗去离子水 树脂交换
废树脂
碱液 碱洗水洗
碱洗 微孔过滤 浆渣
酸液 酸洗水洗 酸洗
废水
冷凝水
烘干分级 蒸发脱水
成品碳化硅 成品聚乙二醇
等外碳化硅
图2 切割废浆料(离线)处理工艺流程
废浆料(在线)
螺旋沉降离心分离
废砂浆压滤 回用碳化硅
聚乙二醇微硅粉浆
聚乙二醇
去离子水 四道循环压滤 吸附脱色 活性炭
微硅粉 脱悬压滤 活性炭(废)
碱液、酸液
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