TFT制造原理和流程.ppt

TFT制造原理和流程 ppt课件 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * TFT制造原理和流程 ppt课件 2.3 CELL工艺流程及设备 CELL切断设备构成示意图　 ② 第一 切断部 ④ 第二 切断部 ③ 旋回部 ⑤ 除材部 ① 给材部 ⑥ Process Check部 LD CELL后工程 (Cell切断) TFT制造原理和流程 ppt课件 2.3 CELL工艺流程及设备 CELL后工程 (端面研磨) 给材部 除材部 面取部 角面取部 控制盘 上游设备（切断装置） 下游设备（洗净装置） 屏流方向 屏 磨石 研削水 喷嘴 磨石 屏 研削水 喷嘴 TFT制造原理和流程 ppt课件 2.3 CELL工艺流程及设备 CELL后工程 (偏光片贴附) 偏光板供给 偏光板洗净 偏光板准位 面板的位置决定 屏反转 贴合 屏送出 屏受入 贴合 TFT制造原理和流程 ppt课件 2.3 CELL工艺流程及设备 屏 屏chuck table 贴附滚轮 贴附移动方向 滚轮旋转 贴附角度 贴附压力 偏光板chuck table 升降动作 ■动作流程 ①偏光板台面下降 ③面板台面移动 ②偏光板台子 吸着ＯＦＦ 屏和偏光板接触 贴附动作 　主要部分构成和动作概要　 CELL后工程 (偏光片贴附) TFT制造原理和流程 ppt课件 2.3 CELL工艺流程及设备 屏检装置 Cell Probe 信号源 信号源 Visual test 显示检查 TFT制造原理和流程 ppt课件 2.4 Module工艺流程及设备 【COG】 【FOG】 背光源 １ ２ 液晶屏 TCP PWB ACF贴附 IC位置吻合?本压接 液晶屏 压接头 ACF 压接头 液晶屏 IC 压接头 液晶屏 PWB 组　　装 COG/FOG ?点/线缺陷 ?不均/污点 官能检查 【老练】 在驱动状态放置一定时间 高温室 电性检查 老化 LCD 模块 ?点/线缺陷 ?不均/污点 官能检查 电性检查 TFT制造原理和流程 ppt课件 2.4 Module工艺流程及设备 COG FOG/FOB 封胶/点胶 FOG后电测 LCD panel/IC/ACF 最终电测 外观 老化 组装 硅胶/UV胶/树脂 ACF 酒精 ACF贴附 PCB/FPC 拭布 缓冲材 包装?出厂 包装材 工程 部材 副部材 喷码 设备 COG机台 信号源/电测机/夹具 老化装置 UV胶固化 ACF贴附机台 FOG/FOB机台 自动/半自动/手动机台 UV炉 信号源/电测机/夹具 组装夹具 油墨喷码机 背光/胶带/铁框 油墨 TFT制造原理和流程 ppt课件 2.4 Module工艺流程及设备 COG自动绑定设备 功能:主要完成IC与panel的连接. IC摆放在IC 专用tray盘中 IC的在电子显微镜下局部放大的图象 TFT制造原理和流程 ppt课件 2.4 Module工艺流程及设备 ACF贴附设备 功能:主要完成ACF与panel/PCB/FPC的连接. ACF TFT制造原理和流程 ppt课件 2.4 Module工艺流程及设备 热压设备 功能:主要完成panel与PCB/FPC的连接. TFT制造原理和流程 ppt课件 2.4 Module工艺流程及设备 金相显微镜 功能:主要用来检查COG/FOG/FOB的产品质量;缺陷分析 TFT制造原理和流程 ppt课件 2.4 Module工艺流程及设备 Aging老化炉 功能:动态/静态下的产品老化 TFT制造原理和流程 ppt课件 2.4 Module工艺流程及设备 Thank you !!! * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * TFT制造原理和流程 ppt课件 2.2 ARRAY工艺流程及设备 光阻剥膜 DEY简介—干刻 TFT制造原理和流程 ppt课件 2.2 ARRAY工艺流程及设备 DEY简介—设备原理 TFT制造原理和流程 ppt课件 2.2 ARRAY工艺流程及设备 压力控制 气体供给 控制台 除害装置 （scrubber） 汽缸cabinet Gas box 上部电极 气体吹出 ＲＦ电源 （ＰＥ场合） 下部