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深紫外-可见微区吸收光谱测试显微镜使用说明

管理员：黄贵龙黄永强

基本曲线定义：

样品透射曲线：光源透过样品后被光谱仪收集到的曲线。

衬底透射曲线：光源透过衬底后被光谱仪收集到的曲线（可以样品旁空白区域、空衬底）。

样品反射曲线：光源被样品反射后光谱仪收集到的曲线。

衬底反射曲线：光源被衬底反射收集的曲线（可以是样品旁区域、空衬底）。

反射镜反射曲线：光源经过标准反射镜反射收集的曲线。

反射镜反射率：标准反射镜的反射率。从校准文件中读取。

暗背景：阻挡所有光源到达光谱仪，光谱仪测量环境本身得到的曲线，用于扣除影响。

基本数据处理方法：

透射光谱：样品透过光强与衬底透过光强的比值。

反射光谱：a、样品反射光与衬底反射光比值。b、样品反射光与反射镜反射光比值。

相对吸收光谱（差分透射、差分反射）：样品与衬底透射曲线（或反射曲线）的差值除以衬底的透过曲线（或反射曲线）。样品厚度需要小于10nm、均一透明。

绝对吸收光谱：1-T（透射率）-R（反射率），样品厚度300nm以内、双抛透明均一。

偏振吸收光谱：旋转偏振片改变透射光偏振方向，分别测量相对吸收（差分透射）光谱。

光谱计算需要收集的数据：

透射光谱

反射光谱

相对吸收（透射）

相对吸收（反射）

绝对吸收

样品透射曲线

?

?

?

衬底透射曲线

?

?

?

样品反射曲线

?

?

?

衬底反射曲线

?（部分）

?

?

反射镜反射曲线

?（部分）

?

反射镜反射率

?

暗背景

?

?

?

?

?

曲线命名处理（参考命名方式，方便分辨）：

原始数据

计算结果

样品透射曲线

Sample-t-XX

样品透射光谱

Sample-t-XX

衬底透射曲线

Back-r-XX

样品反射光谱

Sample-r-XX

样品反射曲线

Sample-t-XX

样品相对吸收（透射）

Sample-ABS-DiffT-XX

衬底反射曲线

Back-r-XX

样品相对吸收（反射）

Sample-ABS-DiffR-XX

反射镜反射曲线

Backm-XX

样品绝对吸收

Sample-ABS-Tot-XX

反射镜反射率

UVAL

偏振吸收光谱10°

ABS10

暗背景

Dark-XX

偏振吸收光谱350°

ABS350

*Sample可替换为测试样品的标识，XX为光谱仪标识（如UV、NIR）

开机顺序：

总电源（机架后面板）-LED指示灯光源-光谱仪控制器-NIR光谱仪-电脑主机-刷卡-开软件

相机软件操作：

打开软件ImageVIew，点击相机列表

显微镜操作：

将样品放置样品台，打开照明光源聚焦清楚（反射光路6圆指示灯清晰），调节聚焦物镜底座XYZ轴，使透射光斑聚焦清楚并与6圆重合。

反射光路理想聚焦情况透射光路理想聚焦情况

非理想聚焦情况（左Z偏离，右XY偏离）拨杆位置

透反射光谱测试各个拨杆挡位（如图、表）

测量方式

UV-VIS透射

UV-VIS反射

NIR透射

NIR反射

透射光快门

开

关

开

关

落射照明器

DF（空挡）

DF（空挡）

DF（空挡）

DF（空挡）

成像光路

Empty

Empty

Empty

Empty

反射入光光路（转盘）

空挡

VIS

空挡

NIR

光谱收集（UV-VIS）

Fiber

Fiber

Empty

Empty

光谱收集（NIR）

Empty

Empty

Fiber

Fiber

关闭LED指示灯，成像所有光路打至Empty、空挡，光谱仪分别采集暗背景，扣除暗背景

设备选择对应光谱仪，挡位选择如上表所示。选择光谱测试平均次数100次单次采谱，分别采集样品、亮背景透反射光谱。偏振光测试选择角度及角度差，同理测试。

选择计算类型，选择已测试好的数据源光谱，代入计算即可。

测试完成，刷卡下机，关机顺序与开机顺序相反。