SrTiO3基薄膜存储单元阻变特性的调控研究.docx

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摘要 I

1绪论 1

1.1引言 1

1.2阻变存储器的简介 1

1.3阻变式存储器的机理解释 2

1.3.1导电细丝机制 2

1.3.2电荷俘获机制 4

1.3.3极化反转机制 5

1.4阻变式存储器的研究进展 5

1.5SrTiO3晶体结构及其薄膜制备方法 7

1.5.1SrTiO3晶体结构 7

1.5.2SrTiO3薄膜的制备方法 7

1.6本课题的研究意义与内容 8

1.6.1本论文的研究内容 8

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