第六章 位置检测装置教学课件.ppt

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光电盘是用玻璃材料研磨抛光制成,玻璃表面在真空中镀上一层不透光的铬,然后用照相腐蚀法在上面制成向心透光窄缝。透光窄缝在圆周上等分,其数量从几百条到几千条不等。圆盘也用玻璃材料研磨抛光制成,其透光窄缝为两条,每一条后面安装有一只光电元件。光电盘与工作轴连在一起 ,光电盘转动时,每转过一个缝隙就发生一次光线的明暗变化,光电元件把通过光电盘和圆盘射来的忽明忽暗的光信号转换为近似正弦波的电信号,经过整形、放大、和微分处理后,输出脉冲信号。通过记录脉冲的数目,就可以测出转角。测出脉冲的变化率,即单位时间脉冲的数目,就可以求出速度。 光电式脉冲编码器,它由光源、聚光镜、光电盘、圆盘、光电元件和信号处理电路等组成(如图)。 * * 电流 A B 节距 ωt A1 B1 900 脉冲编码器输出波形 为了判断旋转方向,圆盘的两个窄缝距离彼此错开1/4节距,使两个光电元件输出信号相位差900。如图5-15所示,A、B信号为具有900相位差的正弦波,经放大和整形变为方波A1、B1。 设A相比B相超前时为正方向旋转,则B相超前A相就是负方向旋转,利用A相与B相的相位关系可以判别旋转方向。此外,在光电盘的里圈不透光圆环上还刻有一条透光条纹,用以产生每转一个的零位脉冲信号,它是轴旋转一周在固定位置上产生一个脉冲。 * 脉冲编码器应用 /v_show/id_XNDA0ODQ1Mzky.html * 第四节 光栅 一、结构 光栅种类较多。根据光线在光栅中是透射还是反射分为透射光栅和反射光栅,透射光栅分辨率较反射光栅高,其检测精度可达1μm以上。从形状上看,又可分为圆光栅和直线光栅。圆光栅用于测量转角位移,直线光栅用于检测直线位移。两者工作原理基本相似,本节着重介绍一种应用比较广泛的透射式直线光栅。 直线光栅通常包括一长和一短两块配套使用,其中长的称为标尺光栅或长光栅,一般固定在机床移动部件上,要求与行程等长。短的为指示光栅或短光栅,装在机床固定部件上。两光栅尺是刻有均匀密集线纹的透明玻璃片,线纹密度为25、50、100、250条/mm等。线纹之间距离相等,该间距称为栅距,测量时它们相互平行放置,并保持0.05~0.1mm的间隙。 * * * 工作原理 二、工作原理 当指示光栅上的线纹与标尺光栅上的线纹成一小角度放置时,两光栅尺上线纹互相交叉。在光源的照射下,交叉点附近的小区域内黑线重叠,形成黑色条纹,其它部分为明亮条纹,这种明暗相间的条纹称为莫尔条纹。莫尔条纹与光栅线纹几乎成垂直方向排列。严格地说,是与两片光栅线纹夹角的平分线相垂直。 * 莫尔条纹具有如下特点: 1. 放大作用 用W(mm)表示莫尔条纹的宽度,P(mm)表示栅距, (rad)为光栅线纹之间的夹角,如图所示则有 莫尔条纹宽度W与角成反比, 越小,放大倍数越大。 2. 均化误差作用 莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同组成,例如,200条/mm的光栅,10mm宽的光栅就由2000条线纹组成,这样栅距之间的固有相邻误差就被平均化了,消除了栅距之间不均匀造成的误差。 θ 标尺光栅 W 指示光栅(斜) P * 3. 莫尔条纹的移动与栅距的移动成比例 当光栅尺移动一个栅距P时,莫尔条纹也刚好移动了一个条纹宽度W。只要通过光电元件测出莫尔条纹的数目,就可知道光栅移动了多少个栅距,工作台移动的距离可以计算出来。若光栅移动方向相反,则莫尔条纹移动方向也相反。 θ 标尺光栅 W 指示光栅(斜) P 标尺方向 指示尺转角θ方向 莫尔条纹方向 标尺方向 指示尺转角θ方向 莫尔条纹方向 * 图5-19 光栅测量系统 光栅测量系统如图所示,由光源、聚光镜、光栅尺、光电元件和驱动线路组成。读数头光源采用普通的灯泡,发出辐射光线,经过聚光镜后变为平行光束,照射光栅尺。光电元件(常使用硅光电池)接受透过光栅尺光强信号,并将其转换成相应的电压信号。由于此信号比较微弱,在长距离传递时,很容易被各种干扰信号淹没,造成传递失真,驱动线路的作用就是将电压信号进行电压和功率放大。 除标尺光栅与工作台一起移动外,光源、聚光镜、指示光栅、光电元件和驱动线路均装在一个壳体内,作成一个单独部件固定在机床上,这个部件称为光栅读数头,又叫光电转换器,其作用把光栅莫尔条纹的光信号变成电信号。 * 三、应用(光栅位移-数字转换系统) 当光栅移动一个栅距,莫尔条纹便移动一个条纹宽度,理论上光栅亮度变化是一个三角波形,但由于漏光和不能达到最大亮度,被削顶削底后而近似一个正弦波。硅光电池将近似正弦波的光强信号变为同频率的电压信号,经光栅位移—数字

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