制程异物分析_1课件.ppt

＊左右ADI製造TFT機能的良率。 　原因之一為異物。 ＊因此，針對工廠全體之所有異物施以對策，　　進而達到製品品質穩定之目的。 ＊使用材料、使用設備、治工具類、對人對策、器具備品類、文具類、消耗品和其他。 ＊若和一般環境中之製造業比較，必須付出數倍的投資額與維持費用。 1)Array工程 發生大批pattern不良。 斷路、短路。 2)Panel工程 發生大批之pattern不良。 電氣特性及表示畫面不良。 3)模組工程 電氣特性不良。 　　　　　 B／L異物不良。畫面不良的原因。 ＊在一般家庭中出現那樣大的物質稱為垃圾。 ＊以?m尺寸（size) 為單位的物質稱為異物。 異物尺寸從最大數十?m到需用電子顯微鏡觀察確認的0.01 ?m之物質皆有。 　現在的半導體業已經從64M 0.28 ?m更進一步到256M 0.2 ?m的Pattern配線，必需要求同程度以下的異物對策。 　人的頭髮直徑大約在50~70 ?m 　TFT的配線大約在6 ?m的程度 ＊依Array、Panel、Module之不同，對異 　物大小(size)所訂定之管理辦法亦不同。 ＊Array無塵室(全室)管理等級訂定100。 　Panel管理等級訂定100~10000。 ＊Module 部份的管理等級訂定10000~100000。 ＊與人的衣服、鞋子和搬入物一起從入口帶進 　無塵室。 ＊與材料、台車、消耗品、容器等物質一起帶進。 ＊從設備和工具，保修部品等帶進。 ＊從管理表和記錄用紙、筆記文具等帶進。 ＊從器具備品、棚架和台車帶進。 上述物件被異物附著後，如未除去，不能進入無塵室中。 * 付著在物品上進入 一般的異物都是付著在攜入物而進入的，萬一沒有被去除而攜入時，異物一定會進入無塵室。 * 人員攜入 鞋子和無塵服和食物、手提袋…等，會帶入污染物 。 * 從環境破壞而入 從門縫、建築縫隙、天花板的間隙…等，建築物的不良部份侵入。 * 金屬、塑膠、大部份的物品摩擦時，一定會有異物產生。 * 加工時所使用的托盤及通箱，在取放製品時，會因摩擦而產生異物。 * 材料的角邊和材質會產生異物。 在TFT基板表面加工的加工途中，材料的角邊和材質會因剝落而產生異物。 * 裝置驅動的地方就是產生異物的地方。 齒輪、輸送帶、輸送機、鍊子…等，會摩擦的地方為發塵源。 * 關於膠帶類的接著材的接著部份，在經過一定期間後，接著劑會因乾燥而變成異物，另外膠帶旁會有細小的異物付著。 * 人體會有很多細小的異物產生。 皮膚、毛髮、體毛…等異物會產生。 * 塵埃類 土類、油類、煙類、塑膠類、其它。 * 金屬類 裝置類、器具備品類、保管庫、其它。 * 紙類 包裝紙、梱包用紙、記錄用紙、膠帶、筆記文 具。 * 人 頭髮、手垢、衣服類、皮膚、其它。 * 裝置類 金屬的摩擦、驅動部的摩擦、金屬的銹和物體的摩擦。 * 材料關係 材料材質的發塵，加工時的發塵。 * 梱包關係 梱包材料的發塵，材料搬運容器的發塵。 * 人體 皮膚、手垢、體毛、動作。 * 建築關係 外部空氣由縫隙侵入，建築材料、塗裝材料。 *管理監督者必須對塵埃有深入的理解。 *人員必須有塵埃的意識。 *人員必須有塵埃的知識。 *人員必須有對於塵埃的實際操作技能。 *必須有對於塵埃的工作團隊體制。 *必須對塵埃管理。 知識，意識，實技，管理，教育等都是重要的。 *知識　關於異物三原則及其具體的內容和異物。 *意識　品質的關係和製造損失等。 *實技　實際上如何做？ *清掃道具　什麼樣的場所要使用什麼樣的工具？ *管理方法　在什麼樣的地方要用什麼樣的管理方法？ *管理者的意識　推動塵埃關係的整合。 *異物對品質　左右品質的一個原因為異物，突然使製品