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聚焦离子束-电子束双束电镜应用实例
分析测试中心电镜室
2016.9.21
聚焦离子束-电子束双束电镜(FIB ,Focused Ion Beam — SEM )
双束:
离子束+电子束(FIB+SEM )
在SEM微观成像实时观察下
用离子束(Ga ,He离子)进行微加工
TEM样品制备-定点 微区沉积、刻蚀
三维重构
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