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西安交通大学材料科学与工程学院磁控溅射系统招标
技术协议
本系统由 2 个腔自组合而成，各腔室超高真空链接，实验样品可以不破坏真空在其间转移，具体参数指标为：
1）扫描隧道显微镜腔：
1.1）原子操纵及自旋极化扫描隧道显微镜（ SP-STM ）腔：
空间分辨率： X,Y 轴 0.1? ；Z 轴： 0.01?
能量分辨率： ~1meV；时间分辨率： 1ms
温度： ≤4.8K
稳定性：热漂移 2?/h ，最小工作电流 500fA
输运测量：样品台具备至少 5 个外部引线电极，并包含高频信号探测用的电缆
光学测量：配备光学透镜组，其物镜焦点始终处于隧穿结
液氦消耗： 4L 可以保持 60h 或以上，在样品上施加 2T 磁场亦可保证 5K 温度下维持时间超过 45h 小时。
包含样 品准备室 ，其 中配备：四轴 样品架 （ manipulator ） , 样品 控温装置
100~1400K）；离子溅射枪及进气漏阀一套；低能电子衍射仪（ LEED/AES ），
红外测温仪，四极质谱仪，样品解理台，可装掩模板的样品台各一个，高温蒸发源≥ 1 个。真空度优于 5 x 10-10 mbar，配备离子泵 /钛升华泵组合一套和涡轮分子泵一台。
1.2）自旋极化扫描及原子操纵相关参数：
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磁场强度： 2.0T
针尖：磁性包裹针（钨针尖上镀 Fe/Cr/Mn ）
自旋极化分别率：单原子
配备控制单元（ DSP Electronics）及相应 STM 测量软件，软件中应内置横向（ 6 种典型模式）及纵向原子操纵模块
原子操纵方向：横向和纵向
可操纵原子： Au、Pt、 In、 Dy 、Mn 、Co、 Fe 等
2）可移动式分子束外延（ MBE ）腔：
预留 11 个固体 /液体蒸发源接口，高温蒸发源≥ 2 个
预留≥ 1 个气体漏阀接口
样品温度范围： 80K~ 1500K
腔壁为双层，可通过液氮或冷氮气冷却
配有膜厚仪 (QMB)
真空度优于 5 x 10-10 mbar，配备涡轮分子泵一台。
配有快速进样室两个： 分别连接在样品准备腔和分子束外延腔上， 真空度均须优
5 x 10-8 mbar。
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