行业标准《太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光分析方法》（送审稿）.docxVIP

ICS FORMTEXT 77.040 FORMTEXT H21 FORMTEXT 备案号： FORMTEXT SJ 中华人民共和国 FORMTEXT 电子行业标准 FORMTEXT SJ/T XXXX— FORMTEXT XXXX FORMTEXT FORMTEXT 太阳能电池用硅片和电池片的在线光致 发光分析方法 FORMTEXT Test method for silicon wafers and cells used for solar cell by online photoluminescence method FORMTEXT 在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上 FORMDROPDOWN FORMTEXT （本稿完成日期：2014.07.01） FORMTEXT XXXX - FORMTEXT XX - FORMTEXT XX发布 FORMTEXT XXXX - FORMTEXT XX - FORMTEXT XX实施 FORMTEXT 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T XXXX—XXXX PAGE 7 前??言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。 本标准起草单位：中国有色金属工业标准计量质量研究所、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、浙江精功科技股份有限公司、苏州协鑫光伏科技有限公司、中电投西安太阳能电力有限公司。 本标准主要起草人：唐贺杰、任皓、贺东江、卫国军、吕喜臣、金善明、黄黎。 太阳能电池用硅片和电池片的在线光致发光分析方法 范围 本标准规定了太阳能电池用硅片（以下简称硅片）和电池片的在线光致发光分析方法,可以用来表征硅片和电池片的位错、重金属沾污、裂纹、断栅等缺陷。 本标准适用于硅片和电池片，在采用本标准提供的测试方法测试其他类型的样品之前，需由供需双方协商确定。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 14264 半导体材料术语 术语和定义 GB/T 14264界定的术语和定义适用于本文件。 方法提要 放置在承载装置上的硅片或电池片被传送并经过成像系统，如图1所示。用波长小于1104nm的光源作为激发光照射硅片或电池片。硅片或电池片体内缺陷区域主要为缺陷复合发光，而无缺陷区域主要为本征发光，选取合适的带通滤波器，就可以通过相机获取硅片或电池片中缺陷与本征发光存在明显光强差异的图片，再经过图像处理系统分析，就能获得所测样品的缺陷在硅片或电池片各处的分布情况，进而对硅片或电池片进行质量监控。常见的光致发光在线测试结果见附录A。 在线光致发光光路及成像系统 干扰因素 测试过程中，硅片或电池片的振动或者挪移会影响硅片或电池片成像的清晰度，从而影响光致发光的分析结果。 测试环境的温度会影响相机CCD的响应，当环境温度波动过大时，会影响相机信号稳定性，需要将温度控制在25℃±2℃。 同一硅片或电池片不同区域表面状况的不均匀变化或连续不同样品之间的表面状况变化可能会影响测试结果，可能涉及的表面影响因素有崩边、硅落、表面沾污、翘曲和线痕等。 仪器 总则 在线光致发光分析系统一般包括成像系统、图像处理系统、计算机系统，如图2所示。 在线光致发光分析系统结构图 成像系统 组成 成像系统为一个暗室，一般由承载装置（或皮带）、光源、相机组成。暗室两侧各开有一狭缝，供样片通过。狭缝应在允许样片通过的基础上尽量小，以避免来自暗室外的光影响测试结果，同时最大程度减少激光对人体的危害。 承载装置 承载装置通常采用皮带来承载并匀速传送待测样片，此过程中样片与皮带应保持相对静止且不应影响到光路，同时也不应在样片上留下影响测试的任何痕迹。 测试中承载装置应保持平稳，且振动幅度应小于200μm。 光源 选用中心波长785nmλc1104nm的光源，使其注入深度宜为硅片厚度的一半左右。 红外光源的光经过发生器产生，并经光纤导入测试模块。此光纤的作用在于保证在测试过程中，没有与样片产生的光致发光处于同样波段的光从外界进入光纤。 一条单色线性光的窄带会投射到样片的表面，此线性光窄带垂直于样片的行进方向，该光带光强的半高宽度为WFWHM，投射光与样片表面夹角为α，沿着此投影光带的光强的标准偏差要小于此光带光强平均值的10%。 光源发出的光会经过带通滤波器，此带通滤波器的作用是让发生器产生的波长为λc的光顺利通过，同时阻止与样片产生的光致发光