行业标准《改良西门子法多晶硅用硅芯》编制说明.docVIP

PAGE 2 PAGE 1 行业标准《改良西门子法多晶硅用硅芯》编制说明 一．工作简况 1、任务来源 根据《工业和信息化部办公厅关于印发2013年第二批行业标准制修订计划的通知》（工信厅科[2013]102号）的要求，由江苏中能硅业科技发展有限公司负责起草《改良西门子法多晶硅用硅芯》行业标准，计划编号：2013-0397T-YS，要求于2014年完成。 2、编制过程 2013年7月江苏中能接到工作任务后，江苏中能领导非常重视，立刻成立工作组，公司高层领导蒋立民总经理亲自牵头组织建立编制组，由质检中心、生产部、品管部与硅芯分厂相关人员组成。根据工信部和有色标委会文件精神要求，江苏中能利用多年使用硅芯的生产经验，通过查阅大量的文献，调研和调查相关客户的质量要求，按照全国有色金属标准委员会有色标准的编制原则、框架要求和国家的法律法规，编制完成了《改良西门子法多晶硅用硅芯》行业标准讨论稿。之后蒋立民总经理组织工作组成员对草案进行讨论，并提出修改意见，2013年8月20日提交征求意见稿至全国有色标委会合肥工作会议讨论。 2013年8月27日，由全国有色金属标准化技术委员会组织，在深圳罗湖山水时尚酒店召开了《改良西门子法多晶硅用硅芯》行业标准的第一次工作会议。来自21家单位的25位代表参加了会议。与会专家对《改良西门子法多晶硅用硅芯》行业标准进行了逐字、逐条地认真讨论，并提出宝贵的修改意见。标准编制组根据与会专家意见修改后再次形成征求意见稿。 2014年3月23日，在扬州市委党校会议中心召开的《改良西门子法多晶硅用硅芯》行业标准的第二次工作会议，有24个单位36位专家参加了会议，与会专家对《改良西门子法多晶硅用硅芯》行业标准征求意见稿进行了逐字、逐条地认真讨论与审核，提出了宝贵的修改意见。标准编制组在与会专家所提意见的基础上对标准征求意见稿进行了修改，并发相关生产、使用单位再次征求意见。工作会议和发函征求的意见具体见意见汇总处理表。 根据两次工作会议反馈意见及征集意见时相关单位反馈的修改建议，编制组于2014年7月形成此次送审稿。 另外由于河南光伏专业从事多晶硅生产用硅芯，由于河南光与无锡中硅是专业生产多晶硅生产用硅芯的生产企业，因此邀请两个单位与我司一起进行该标准的编制。 三．标准编制原则和确定标准主要内容的论据 以多晶硅为原料，经机械加工而制得的改良西门子法生产多晶硅用硅芯，是一种用于生长多晶硅棒的硅芯及其质量指标要求，本公司所起草的《改良西门子法多晶硅用硅芯》行业标准，主要适用于利用还原炉生产多晶硅的生产工艺。标准中规定了硅芯的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等。 生产用硅芯产品技术指标、要求与测试方法见下表： 外形及尺寸 项目 要求 直径（圆形状）/（mm） Φ6～12±0.5 边长（方形、菱形状）/（mm） （8*8)±0.5～(15*15)±0.5 长度/（mm） 2000±2～3200±2 直线度误差 ≤1/1000 注：直径（边长）、长度尺寸不符合表1规定时，由供需双方协商确定并在合同中注明。 电学性能参数 硅芯的电学性能及成分应符合表2和表3的规定。 太阳能级硅芯电学参数 项目 太阳能级硅芯纯度等级 1级品 2级品 3级品 N型电阻率/（Ω·cm） ≥100 ≥40 ≥10 P型电阻率/（Ω·cm） ≥500 ≥200 ≥100 碳浓度/(atoms/cm3) ≤2.4*1016 ≤4*1016 ≤4.5*1016 体金属（铁、铬、镍、铜、锌）/（ppbw） ≤50 表金属/（ppbw） ≤30 注：每个等级的产品应该同时满足本等级的要求，若某指标超出标准，则降为下一级。 电子级硅芯电学参数 项目 电子级硅芯纯度等级 1级品 2级品 3级品 N型电阻率/（Ω·cm） ≥500 ≥300 ≥200 P型电阻率/（Ω·cm） ≥3000 ≥2000 ≥1000 碳浓度/(atoms/cm3) ≤1.5*1016 ≤2*1016 ≤2*1016 体金属（铁、铬、镍、铜、锌）/（ppbw） ≤10 表金属/（ppbw） ≤10 注：每个等级的产品应该同时满足本等级的要求，若某指标超出标准，则降为下一级。 四．标准水平分析 国内还没有统一的《改良西门子法多晶硅用硅芯》标准，各生产单位根据用户的要求来组织生产，但由于各用户的要求不一致，难以统一，部分生产单位制定了各自的企业标准，以此作为生产及销售的技术规范。而经检索，目前尚无《改良西门子法多晶硅用硅芯》的国际通用标准，只有一些公司和企业、商家各自执行的企业标准。本标准为首次制定，规定了改良西门子法生产多晶硅用硅芯，达到国内先进水平。 五.与现行法规、标准的关系 本标准不违反国家现行的有关法律、法规的规定，本标准制定并经中华人民共和国工业和信息化部批准发布